ASML
Die Lithografiesysteme von ASML sind von zentraler Bedeutung für den Herstellungsprozess von Mikrochips.
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Die Halbleiterindustrie wird von erschwinglichen Größenordnungen angetrieben, die durch das ganzheitliche Lithografie-Produktportfolio von ASML ermöglicht werden
Mikrochips werden hergestellt, indem komplexe Muster von Transistoren Schicht für Schicht auf einem Siliziumwafer aufgebaut werden. Die Lithografiesysteme von ASML sind für diesen Prozess von zentraler Bedeutung.
Ein Lithografiesystem (formell als 'Photolithografie' bekannt) ist im Wesentlichen ein Projektionssystem. Licht wird durch eine Blaupause des zu druckenden Musters (auch 'Maske' oder 'Fadenkreuz' genannt) projiziert.
Während das Muster im Licht kodiert wird, schrumpft die Optik des Systems und fokussiert das Muster auf einem lichtempfindlichen Siliziumplättchen. Nachdem das Muster gedruckt wurde, bewegt das System den Wafer leicht und erstellt eine neue Kopie auf dem Wafer.
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